泰克2600-PCT-1B參數(shù)曲線跟蹤儀

高性能器件特性分析

開發(fā)和使用MOSFETS、IGBTs、二極管及其他高功率器件要求完善的器件級特性分析，如擊穿電壓、開態(tài)電流和電容測量。吉時利一系列高功率參數(shù)曲線跟蹤儀配置支持全系列器件類型和測試參數(shù)。吉時利參數(shù)曲線跟蹤儀配置包括特性分析工程師迅速開發(fā)完整的測試系統(tǒng)所需的一切。ACS基本版軟件提供了完整的器件特性分析，包括實時跟蹤模式及全部參數(shù)模式，實時跟蹤模式用來迅速檢查基礎(chǔ)器件參數(shù)， 如擊穿電壓；全部參數(shù)模式用來提取精確的器件參數(shù)。ACS基本版超越了傳統(tǒng)曲線跟蹤儀接口的能力，提供了廣泛的一系列樣本庫。更重要的是，用戶可以全面控制所有測試資源，創(chuàng)建以前在曲線追蹤儀上不能26實00現(xiàn)-P的C更T-先4B進(jìn)型的，測試。

分析各種功率器件類型的電特性，包括：

分析各種功率器件類型的電特性，包括：

吉時利參數(shù)曲線跟蹤儀同時支持封裝部件測試和晶圓級測試。

主要特點:

• 為*性能價格比設(shè)計的完整的 解決方案
• 現(xiàn)場可升級，可重新配置 – 把PCT 轉(zhuǎn)換成可靠性或晶圓分類測試儀
• 可以配置功率電平：
  –從200V到3kV
  –從1A到100A
• 寬動態(tài)范圍：
  –從μV到kV
  –從fA到100A
• 范圍全面的電容電壓(C-V)功能：
  –從fF到μF
  –支持2端子、3端子和4端子器件
  –高達(dá)3kV DC偏置
• 高性能測試夾具支持多種封裝類型

應(yīng)用

• 功率半導(dǎo)體器件特性分析與測試
• GaN、SiC、LDMOS以及其他器件
• 特性分析
• 功率器件可靠性研究 器件檢測與質(zhì)量認(rèn)證

吉時利參數(shù)曲線跟蹤儀同時支持封裝部件測試和晶圓級測試。

吉時利參數(shù)曲線跟蹤儀配置是完整的特性分析工具，包括功率器件分析所需的主要要素。測量通道包括吉時利數(shù)字源表®源測量單元(SMU)儀器和選配的多頻率電容-電壓(C-V) 表。這些儀器的動態(tài)范圍和準(zhǔn)確度比傳統(tǒng)曲線跟蹤儀高出若干量級。

完整的系統(tǒng)附件

為了實現(xiàn)這種性能，吉時利公司已經(jīng)開發(fā)出一系列高精密電纜，實現(xiàn)與吉時利8010型高功率器件測試夾具或8020型高功率接口面板的連接，前者用于封裝部件測試，后者用于晶圓級測試。對于高電壓通道，定制三軸電纜可以提供保護(hù)路徑，支持快速穩(wěn)定和超低電流，包括在3kV全高壓情況下。對于高電流通道，低電感電纜可以提供快速上升時間脈沖，使器件自熱效應(yīng)達(dá)到小。

高壓電容-電壓(C-V)

測試器件電容相對DC電壓的關(guān)系正變得越來越重要。吉時利提供了PCT-CVU型多頻率電容電壓表。在與選配的200V或3kV偏置T型裝置結(jié)合使用時，可以在兩端子、三端子或四端子器件上測量電容相對電壓的關(guān)系?？梢詼y量從pF到100nF的電容，支持10kHz ~ 2MHz的測試頻率。ACS基本版軟件提供了60多種內(nèi)置C-V測試，包括MOSFET Ciss、Coss、Crss、Cgd、Cgs、Cds及全套其他器件，如BJTs和二極管。一如既往，用戶可以實現(xiàn)全面控制，在ACS基本版軟件中開發(fā)自己的測試算法。

1.關(guān)于定制配置，請與吉時利現(xiàn)場應(yīng)用工程師聯(lián)系。
2. 通過添加2651A型號，可以將高電流模式增加到50A或100A。
3. 可以在任何配置中增加PCT-CVU多頻率電容表。

半導(dǎo)體參數(shù)測試軟件，適用于組件與分立器件

ACS基本版本軟件是專為利用吉時利儀器的高性能能力而開發(fā) 的，它包括幾個履行常見高功率器件測試的樣本庫。與其他系 統(tǒng)不同的是，該軟件在測量通道配置方面，給用戶帶來幾乎不 受限制的靈活性，可以創(chuàng)建傳統(tǒng)曲線跟蹤儀無法實現(xiàn)的測試。

多測試模式允許對一個器件進(jìn)行多項測試。

跟蹤模式支持器件的交互測試。

與傳統(tǒng)曲線跟蹤儀相比，PCT圖形提供了高分辨率屏幕數(shù)據(jù)分析功能、完整的圖形定制能力，并能夠簡便地報告到任何字處理軟件或報告軟件。

泰克2600-PCT-1B參數(shù)曲線跟蹤儀

典型功率晶體管參數(shù)

1. 用于提取參數(shù)的測試方法。僅列出典型MOSFET，其他器件使用的方法類似。
2. 2657A型高功率系統(tǒng)數(shù)字源表儀器。
3. 2636B型數(shù)字源表或4210型源測量單元（SMU）儀器。
4. 2651A型高功率系統(tǒng)數(shù)字源表儀器或者可選擇雙2651A型高功率系統(tǒng)數(shù)字源表儀器。
5. 在3000V電壓時大電流20mA，在1500V電壓時大電流120mA。
6. 典型提取能力(示例: 1mA/1V ～ 1A/1mV)。
7. 典型提取能力(示例: 1mV/10A)。
8. 使用PCT-CVU和CVU-3K-KIT時，大±200V直流 (±3kV)偏置。

8010高功率器件測試夾具

8020高功率接口面板

高電流、低電感電纜

高電壓、低噪聲三同軸電纜

2600-PCT-4B型，帶有8010型測試夾具

典型測試簡介

公式函數(shù)簡介

類型

算術(shù)

ABS, AVG, DELTA, DIFF, EXP, LN, LOG, LOG10, SQRT

參數(shù)提取

GMMAX, RES, RES_4WIRE, RES_AVG, SS, SSVTCI, TTF_ DID_LGT, TTF_LGDID_T, TTF_DID_T, TTF_LGDID_LGT, VTCI, VTLINGM, VTSATGM

擬合

EXPFIT, EXPFITA, EXPFITB, LINFIT, LINFITSLP, LINFITXINT, LINFITYINT, REGFIT, REGFITSLP, REGFITXINT, REGFITYINT, REGFIT_LGX_LGY, REGFIT_ LGX_Y, REGFIT_X_LGY, TANFIT, TANFITSLP,TANFITXINT, TANFITYINT

操作

AT, FINDD, FINDLIN, FINDU, FIRSTPOS, JOIN, LASTPOS, MAX, MAXPOS, MIN, MINPOX, POW, SMOOTH